高純水是化學純度極高的水，其中的雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99.99999999%，其中雜質含量低于0.01mg/L。
高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0. 3mg/L以下，電導率小于0. 2μs/cm。
在相同的操作電流下，隨著原水電導率的增加則EDI出水的電導率也增加。因為原水電導率低則離子的含量也低，同時低離子濃度使得在淡室中樹脂和膜的表面上形成的電勢梯度也大，這導致水的解離程度增強，極限電流增大，產生的H+和OH-的數量較多，使填充在淡室中的陰、陽離子交換樹脂的再生效果良好。
在原水的電導率為21.5μS/cm時，隨著操作電流的增大而EDI出水的電導率一直很小(0.1～0.05μS/cm)，這是因為原水電導率越小則水解離越劇烈，產生的H+和OH-也越多，樹脂電再生的效果就越好(使其保持良好的交換性能)。當操作電流繼續升高時，H+和OH-除用于再生樹脂外還用于負載電流，故淡室中的水解離程度繼續增大，使得離子交換與樹脂的再生逐漸達到平衡，產水電導率趨于穩定。因此，原水電導率是影響產水水質的最重要因素之一。當進水電導率較高時，隨著操作電流的增加其產水水質有所下降。以原水電導率為100μS/cm時的曲線為例，當操作電流從0逐漸增加到5A時EDI出水的電導率從0.17μS/cm 上升到0.5μS/cm左右(水質有所下降)，其原因是在高鹽度下濃差極化較小、水解離作用弱，樹脂幾乎沒有獲得再生，此時離子交換起了主要作用，短時間內樹脂就被鹽離子所飽和，而這時樹脂主要起到增強離子遷移的作用。
無論進水含鹽量高或低，二級五段的EDI設備對其都有很好的脫鹽效果(脫鹽率>99%)，出水的電導率能夠達到高純水標準(電導率<1μS/cm)。
電導率(T.D.S)：水的導電性即水的電阻的倒數，通常用它來表示水的純凈度。